超音波モータの歴史と特徴,原理と具体的な構成例について述べた。基礎となる弾性体の振動,圧電現象,電気等価回路もまとめた。さらに,読者が実際に超音波モータを製作できるよう,駆動回路,評価法,測定法についても説明した。
【主要目次】
1.超音波モータの歴史と特徴
2.弾性固体の振動の基礎
3.圧電の基礎
4.進行波型超音波モータの原理
5.定在波型超音波モータの原理
6.超音波モータの実現例
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