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電子顕微鏡は試料を拡大して形態や微細組織を観察するだけでなく、電子線を照射した微小領域から結晶構造・原子配列や化学組成・結合状態の情報を取得することが可能なため、材料やデバイスの研究開発における強力な分析評価装置である。とりわけ、ナノ~原子スケールの空間分解能を有する透過電子顕微鏡(TEM)はナノテク関連分野の拡大に伴い、その重要性が増している。
本書では、電子顕微鏡の新規利用者を念頭に、活用する上で必要な基礎知識と具体的な技能修得について解説する。
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