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表面分析は化学・物理などの基礎研究のみならず,産業界でも研究開発・品質管理などに利用されている。本書では約120の表面分析手法を取り上げ,見開き形式で解説。原理だけでなく実際の適用例を複数紹介し,また各項目の冒頭にはその手法の特徴や主な適用先などをまとめ,一目で概要がわかるよう工夫。試料の種類や性質,目的により適切な手法を選択するためのリファレンス。〔内容〕電子線分析/イオンビーム分析/エリプソメトリ/AFM/磁気計測/データ解析/他
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