ＳＯＩ Ｌｕｂｉｓｔｏｒの物理学と応用
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IBMがSOI基板技術をLSIとして2001年に実用化した時、静電破壊保護用半導体デバイスとしてLubistorが採用された。Lubistorはその後最先端半導体デバイスであるトンネルFETとして注目されている。今後の応用開拓のためLubistorの提案の経緯から現在までの発展過程を詳細に説明する。
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