小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法

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肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな動く機械をつくるために必要な設計、材料、機能、寸法、組立ての評価方法を国際標準に沿って解説。「シミュレーション」「薄膜の弾性定数の精密計測法」など６章で構成。

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