クリーンルーム環境の計画と設計

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クリーンルームとそれに準じる各種空気清浄化施設の計画・設計に関する技術を体系化し、最新情報を踏まえてわかりやすく解説する実務参考書。省エネルギーなどの記述を大幅補強し、設計事例を豊富に収録した。

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