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半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体

半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体

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出版社: コロナ社

著者名: 近藤英一 , 上野和良 , 内田寛 , 曽根正人 , 生津英夫 , 服部毅 , 堀照夫 , 森口誠

価格: 3,740円（本体3,400円+税）

発行年月: 2012年9月

判型: Ａ５

ISBN: 9784339008371

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

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