図解入門よくわかる最新半導体ナノプロセスの基本と仕組み

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半導体に興味を持つビジネス関係者や学生を対象に、ナノスケールレベルのプロセスやデバイスの分野を広くまとめた。ナノレベルの世界で展開する半導体技術の神髄と精華が、豊富なイラストで手にとるようにわかる。

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