フォトマスク
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フォトマスクは半導体のウェーハ上に回路配線を形成するために用いる原版のこと。フォトマスクの製造技術の進歩はハイテク産業の進歩につながる。本書は次世代技術をささえるフォトマスク技術について，開発に携わる著者がわかりやすく，体系的にまとめたものである。半導体関連，ディスプレイ関連，マイクロマシン関連技術に携わる技術者，研究者におすすめ。
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