シリコン貫通電極TSV

シリコン貫通電極TSV

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出版社
東京電機大学出版局
著者名
伝田精一
価格
2,970円(本体2,700円+税)
発行年月
2011年4月
判型
A5
ISBN
9784501328009

TSV技術とは、半導体を三次元に実装する際に用いる技術であり、半導体の高集積化、高速信号伝送、多量データ通信、省電力が可能になる。本書は、次世代の技術を支えるTSV技術をわかりやすく解説する。

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