マイクロ・ナノ領域の超精密技術

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日本のものづくりを支える超精密技術について、基本となる研削・研磨、半導体加工技術から、洗浄、材料評価までを集大成。技術開発の最新の成果を明らかにするとともに、将来への発展に役立つ１冊。

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