プラズマ／プロセスの原理

出版社よりお取り寄せ（通常3日～20日で出荷）
※20日以内での商品確保が難しい場合、キャンセルさせて頂きます

半導体製造装置で使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を、基礎から応用まで解説。得られた解析結果をいかにして適用すればよいか、例題を用いて提示する。

お気に入りカテゴリ

よく利用するジャンルを設定できます。

カテゴリ

「+」ボタンからジャンル（検索条件）を絞って検索してください。
表示の並び替えができます。