集積ナノデバイス
第一線の著者陣による半導体工学の本格的専門書シリーズ第１巻。ナノスケールＶＬＳＩデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法について、深くポイントを掘り下げて解説する。
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