薄膜の基本技術

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カーボンナノチューブや青色発光ダイオードなど、今話題の材料は薄膜製作技術の成果。現代の最先端技術を支える薄膜の作り方や物性の測定などを基本から学べる定番テキスト。第２版を全面改訂、演習問題も付加。

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