薄膜ハンドブック

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昨今の薄膜応用技術を網羅した、待望の決定版。読者の活用の観点から、研究や開発に必要となる薄膜に関連する基礎知識と技術を有用なデータとともに、体系的かつ問題解決のために使いやすく整理してまとめた。

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