電子線リソグラフィ教本

電子線リソグラフィ教本

取り寄せ不可

出版社
オーム社
著者名
秋永広幸 , 横山浩
価格
3,300円(本体3,000円+税)
発行年月
2007年6月
判型
A5
ISBN
9784274204159

実際の目的に直結した、「電子線リソグラフィ」の実践的な教本。見開きで本文の内容と図表が対応するように配置し、各章の最後には「理解度チェック」のページを設けた。キーワードは、太字で表示する。

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