絵とき「薄膜」基礎のきそ

Electronics series

絵とき「薄膜」基礎のきそ

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出版社
日刊工業新聞社
著者名
小林春洋
価格
2,310円(本体2,100円+税)
発行年月
2006年12月
判型
A5
ISBN
9784526057915

薄膜が作られる原理や、薄膜を作るにはどのような方法があり、それぞれどのような特徴があるのか、またできた膜をどのように評価するのかなど、薄膜作成のひととおりを絵解きでわかりやすく解説した入門書。

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