プラズマイオンプロセスとその応用

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プラズマイオンプロセス法は、半導体への応用技術においてその重要度を増してきている。プラズマ技術、イオン運動の物理、プロセスに求められる条件から、機能性薄膜の生成や半導体への応用技術まで幅広く解説。

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