センサ・マイクロマシン工学
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センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらに化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説した教科書。近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応。
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