マイクロ波プラズマの技術

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未開拓の可能性を多く秘めているマイクロ波帯のプラズマ。本書では、このマイクロ波プラズマに関して、その生成・維持機構、発生・制御技術および各種応用技術の実例などを網羅。他に例を見ない特色ある専門書。

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