薄膜工学

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基礎的な技術でありながら、関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う薄膜技術。本書は、その基本事項とともに最新技術の紹介も行い、産業にも生かせる形でわかりやすく解説したテキスト。

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