真空ハンドブック

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平成４年の初版が好評だった「真空ハンドブック」。このたび今日的観点で初版の内容・収録データの見直し、化学・薬品工業から半導体製造まで広範な技術分野に基礎を与える真空技術の最新技術と関連データを集大成。

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