集積回路工学概論

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出版社: 大阪大学出版会

著者名: 島亨（半導体工学） , 有門経敏 , 浜口智尋 , 谷口研二

価格: 2,750円（本体2,500円+税）

発行年月: 2002年4月

判型: Ａ５

ISBN: 9784872590746

集積回路工学における広範囲の内容をまとめた大学院生や半導体および半導体装置メーカーの若手技術者の勉強に最適の教科書・参考書。豊富な図や写真も理解を大いに助けるものだろう。
　半導体産業および製造の全分野を平易に説明、また原理原則のみならず応用技術や最先端技術の解説にも触れていて、初心者のみならず中級者にも適している。

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