材料評価のための分析電子顕微鏡法
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21世紀の新しい科学技術を支える先端材料を開発する上で、その構造を理解することは、基礎的に最も重要である。
多層膜や傾斜機能材料において、その特性を理解するためには、ナノエリアでの構造と組成を正確に知ることが必須である。この微小領域における構造と組成の解析手段として、高い分解能（～0.1nm）特性と1nm以下の微小領域での分析機能を合わせもつ分析電子顕微鏡に、最近大きな期待が寄せられている。
このような状況を踏まえて、最近の分析電子顕微鏡のハードとソフトさらに各種の分析技法について詳述した本書の出版を企画した次第である。『材料評価のための高分解能電子顕微鏡法』との併読をお勧めする。
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