マイクロ加工の物理と応用
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マイクロテクノロジーは、マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり、各種の基板製造、マイクロ加工、組立製造、評価・計測に関連する幅広い技術である。
本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
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