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フロンティア出版(台東区)
前田龍太郎 ,澤田廉士 ,青柳桂一
MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開
フロンティアテクノシリーズ
発行年月:2006年5月
ISBN:9784902410082
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オーム社
澤田廉士 ,羽根一博 ,日暮栄治
光マイクロマシン
発行年月:2002年11月
ISBN:9784274035890
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