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超高純度ガスの科学　第２分冊（データ編）

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

超高純度ガスの科学　第２分冊（データ編）

Ｓｕｒｆａｃｅ　ｓｃｉｅｎｃｅ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　２

定価: 60,500円（本体55,000円+税）

発行年月：1994年4月

ISBN：9784947655677

出版社よりお取り寄せ（通常3日～20日で出荷）

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超高純度ガスの科学　第１分冊（コンセプト編）

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

超高純度ガスの科学　第１分冊（コンセプト編）

Ｓｕｒｆａｃｅ　ｓｃｉｅｎｃｅ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　２

定価: 56,100円（本体51,000円+税）

発行年月：1993年12月

ISBN：9784947655646

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高性能半導体プロセス用分析・評価技術

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

高性能半導体プロセス用分析・評価技術

Ｕｌｔｒａ　ｃｌｅａｎ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．１３

定価: 31,900円（本体29,000円+税）

発行年月：1992年5月

ISBN：9784947655530

出版社よりお取り寄せ（通常3日～20日で出荷）

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ＳＯＩの科学

リアライズ理工センター

大見忠弘 ,新田雄久 ,半導体基盤技術研究会

ＳＯＩの科学

Ｓｕｒｆａｃｅ　ｓｃｉｅｎｃｅ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．４

定価: 52,800円（本体48,000円+税）

発行年月：2000年4月

ISBN：9784898080221

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シリコンの科学

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会 ,大見忠弘 ,新田雄久

シリコンの科学

Ｓｕｒｆａｃｅ　ｓｃｉｅｎｃｅ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．３

定価: 66,000円（本体60,000円+税）

発行年月：1996年6月

ISBN：9784947655882

出版社よりお取り寄せ（通常3日～20日で出荷）

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半導体製造におけるクローズドシステム

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

半導体製造におけるクローズドシステム

Ｕｌｔｒａ　ｃｌｅａｎ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．１２

定価: 27,500円（本体25,000円+税）

発行年月：1991年11月

ISBN：9784947655479

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フッ素化学

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

フッ素化学

Ｕｌｔｒａ　ｃｌｅａｎ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．１１

定価: 27,500円（本体25,000円+税）

発行年月：1991年8月

ISBN：9784947655455

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