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半導体製造における安全対策・管理ハンドブック

リアライズ理工センター

原田宙幸

半導体製造における安全対策・管理ハンドブック

定価: 22,000円（本体20,000円+税）

発行年月：1993年2月

ISBN：9784947655608

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薄膜の力学的特性評価技術

リアライズ理工センター

金原粲

薄膜の力学的特性評価技術

定価: 80,300円（本体73,000円+税）

発行年月：1992年3月

ISBN：9784947655523

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光学材料ハンドブック

リアライズ理工センター

福見俊夫

光学材料ハンドブック

定価: 93,500円（本体85,000円+税）

発行年月：1992年1月

ISBN：9784947655493

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半導体製造におけるクローズドシステム

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

半導体製造におけるクローズドシステム

Ｕｌｔｒａ　ｃｌｅａｎ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．１２

定価: 27,500円（本体25,000円+税）

発行年月：1991年11月

ISBN：9784947655479

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フッ素化学

リアライズ理工センター

半導体基盤技術研究会

フッ素化学

Ｕｌｔｒａ　ｃｌｅａｎ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ　ｎｏ．１１

定価: 27,500円（本体25,000円+税）

発行年月：1991年8月

ISBN：9784947655455

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最新固体表面／微小領域の解析・評価技術

リアライズ理工センター

氏平祐輔

最新固体表面／微小領域の解析・評価技術

定価: 15,400円（本体14,000円+税）

発行年月：1991年3月

ISBN：9784947655424

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超純水の科学

リアライズ理工センター

超純水の科学

定価: 66,000円（本体60,000円+税）

発行年月：1990年9月

ISBN：9784947655417

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オゾン利用の理論と実際

リアライズ理工センター

オゾン利用の理論と実際

定価: 63,800円（本体58,000円+税）

発行年月：1989年10月

ISBN：9784947655295

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新熱分析の基礎と応用

リアライズ理工センター

日本熱測定学会

新熱分析の基礎と応用

定価: 7,477円（本体6,797円+税）

発行年月：1989年7月

ISBN：9784947655325

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