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オーム社
日本真空技術株式会社
真空ハンドブック
発行年月:1992年11月
ISBN:9784274086373
取り扱いが終了いたしました
アグネ
シーグフリート・シラー ,ウルリッヒ・ハイジック ,日本真空技術株式会社
真空蒸着
発行年月:1977年6月
ISBN:9784750704098
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