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リアライズ理工センター
大見忠弘 ,新田雄久 ,半導体基盤技術研究会
SOIの科学
Surface science technology series no.4
発行年月:2000年4月
ISBN:9784898080221
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半導体基盤技術研究会 ,大見忠弘 ,新田雄久
シリコンの科学
Surface science technology series no.3
発行年月:1996年6月
ISBN:9784947655882
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