半導体ＬＳＩ技術
半導体技術の発展により、現在のＩＣＴ社会において、ＬＳＩは必要不可欠の存在。本書では、ＬＳＩの歴史から半導体デバイス、ＬＳＩ製造プロセスなどについて、基本的な考えから最近技術までを解説する。
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