ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡

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電子顕微鏡の中の走査電子顕微鏡について、装置、試料処理、測定法、分解能から、走査電子顕微鏡の有効活用までを理解できる１冊。ナノテクノロジー領域で重要なツールを実際の観察結果を多く織りまぜて解説する。

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