トコトンやさしい超微細加工の本

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超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしている。本書では、その超微細加工についてトコトンやさしく解説する。

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